Khung chính và kết cấu truyền tải
Thường được chế tạo từ thép cacbon hàn hoặc thép không gỉ; một số thiết bị nhẹ, được chế tạo{0}}tùy chỉnh sử dụng hợp kim nhôm có độ bền-cao để cân bằng tính toàn vẹn của cấu trúc với khả năng chống ăn mòn.
Các thành phần trạm xử lý lõi
Mô-đun xử lý stato/rôto: Đồ gá dụng cụ tiếp xúc với phôi được làm bằng thép công cụ hợp kim, trong khi các bộ phận định vị quan trọng sử dụng thép chịu lực để đảm bảo độ chính xác và khả năng chống mài mòn.
Nhấn-bộ truyền động lắp và siết chặt: Các bộ phận truyền động lõi sử dụng thép hợp kim, với một số mô-đun trợ động-có độ chính xác cao kết hợp với các bộ phận gốm-chống mài mòn.
Phôi chuyên dụng-Khu vực tiếp xúc
Dụng cụ tiếp xúc trực tiếp với phôi như các tấm thép silicon hoặc dây tráng men được làm từ-vật liệu phi kim loại-như nylon hoặc polyurethane-để tránh làm trầy xước lớp cách điện của phôi.
Vỏ bọc và các bộ phận bảo vệ
Vỏ thiết bị và tấm chắn an toàn thường được làm bằng thép cán nguội-được sơn tĩnh điện hoặc hợp kim nhôm; cửa sổ xem sử dụng acrylic (Plexiglass) để cân bằng khả năng bảo vệ với khả năng hiển thị.
